浜松--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- 浜松ホトニクス株式会社（東証：6965）は、シーケンサ接続に対応し、小型化することでインライン製造装置や検査装置への組み込みを容易にした新型-膜厚計Optical NanoGauge（オプティカル・ナノゲージ）「C13027」を4月1日から発売。国内外のフィルム、FPD（フィラット・パネル・ディスプレイ）、半導体の塗布、薄膜成膜などの製造装置や検査メーカーなどに販売していきます。4/8（水）から開催される第6回高機能フィルム展「フィルムテックジャパン」（4/8～10、東京ビッグサイト）に出展いたします。 Optical NanoGauge C13027は、分光干渉法を用いた非接触・高精度の膜厚測定装置で、アナログ出力に対応することで、シーケンサへの接続を容易にしました。また、当社従来製品に比べ設置面積を約30 ％削減し、インライン製造装置や検査装置への組み込みを容易にしました。 新たに色計測機能を搭載し、膜厚測定と同時にフィルムやFPDの色むらの確認が行えますので、品質管理の向上に貢献します。また、解析アルゴリズムの