日本小山--(BUSINESS WIRE)--(美国商业资讯)--领先的光刻光源制造商Gigaphoton, Inc.宣布推出“氖气救援计划”。该综合性方案包括以下三项措施：为新的气体供应商提供快速资质认证；限时免费(*1)使用Gigaphoton的eTGM技术以减少氖气使用；加速推出公司最新的气体回收技术hTGM。“氖气救援计划”由Gigaphoton制定，用于立即帮助客户应对氖气供应和成本方面日益严峻的挑战，这对维持稳定的高产环境至关重要。 氖气是激光器中氩气(Ar)和氪气(Kr)的缓冲气体，用于半导体的制造。目前乌克兰是氖气的主要生产国，但由于国内危机持续不断，氖气供应减少已成为一个突出问题且正在引起人们的普遍担忧。担忧的原因不仅在于氖气价格上涨，也包括 2015年开始的供应短缺问题(*2)。对于作为全球氖气主要消费者的半导体行业而言，这是一个严峻的局面。 为应对这次危机，Gigaphoton早在2011年11月便宣布为所有新的和现有的GT系列ArF浸没式激光器提供eTGM技术的限时免费使用。“氖气救援计划”在此基础上提供了更全面的方案，内容包括： 为客户要求的新气体供应商提供