栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)-- 微影光源主要製造商Gigaphoton, Inc.(本社: 栃木県小山市 總裁兼執行長:都丸 仁) 繼2014年11月發表ArF浸潤式雷射「GT Series」減少Gas使用量的技術「eTGM」限時免費(*1)計畫之後，再次宣布推出全機種雷射「氖氣救援計畫」。 目前應用於半導體製程中的ArF 和 KrF雷射的緩衝氣體為氖氣，目前烏克蘭為氖氣的主要生產國，但由於國內危機持續不斷，近年來氖氣供應減少已成為一個突出問題且正在引起人們的普遍擔憂。擔憂的原因不僅在於氖氣價格上漲，同時2015年的供應開始擴大為是否會有短缺的疑慮(*2)。對於作為全球氖氣主要消費者的半導體產業而言，這是一場嚴峻的局面。 因應這次危機，Gigaphoton為了提供客戶穩定生產的支援及解決氖氣供給危機，將推出「氖氣救援計畫」的配套措施，此配套措施包含了以下三個計畫 為客戶要求的新氣體供應商提供快速的資格認證方案。以前，新氣體供應商需要六至十二個月才能完成測試和資格認證。但現在根據新方案，客戶最快只需一個月時間便可使用新的氣體供應商。 Gigaph
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