栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁）は、希少ガス消費量の低減に積極的に取り組み、材料コストの削減に多大な貢献をしたことが評価され、世界有数のNANDフラッシュメモリ生産拠点である株式会社東芝セミコンダクター＆ストレージ社四日市工場より「パートナーシップ賞」を受賞したと発表しました。 ギガフォトンは半導体露光装置用レーザーに使用される、ヘリウムやネオン等の希少ガス消費量を大幅に削減できる「ヘリウムフリー技術」や「eTGM技術」を積極的に半導体メーカーに提供してきました。これらの活動が認められ、1月6日、四日市工場長の渡辺友治氏より記念品及び賞状が、授与されました。 ギガフォトン代表取締役社長兼CEOの都丸仁氏はこう述べています。「世界有数の半導体メーカーである、東芝セミコンダクター＆ストレージ社四日市工場様より、このような賞をいただけたことは大変な名誉であり、心より感謝申し上げます。昨年は、ここ数年の弊社のグリーン技術が高く評価され、世界の半
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