フィンランド・トゥルク & 伊アヴェッツァーノ--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- ScannanoとLFoundryは本日、Scannanoの破壊的ナノ技術を多様な新製品アプリケーションに適用するための戦略的な長期提携関係を発表しました。これら新製品の皮きりとなっていくのが、MEMSベースの圧力センサーポートフォリオです。 Scannanoのディープ真空ギャップ（DVG）技術とマイクロメンブレンナノ技術を採用した新圧力センサーは、かつてないレベルの高精度と微小化に加え、低消費電力化と多機能を実現します。その結果、新デバイスは標準的CMOSプロセスを採用して、同じチップ上に「特定用途向け集積回路（ASIC）」と共に製造できます。 DVGプロセスは約1nmと非常に高い精度で微小な真空ギャップを生み出すために利用されます。こうしたギャップをセンシングメンブレンと組み合わせることで、メンブレンにかけられた圧力を測定します。数ナノメートルのレベルで変形が生じるため、高精度はナノ次元のシングルデバイスによって実現できます。さらに、低消費電力であるため、同じチップ上にそ
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