日本橫濱--(BUSINESS WIRE)--(美國商業資訊)--全球領先的高精度3D傳感技術解決方案開發商和製造商CyberOptics® Corporation (NASDAQ: CYBE)將出席於2015年4月20日至22日在日本橫濱舉行的第22屆光罩和NGL光罩技術研討會。 4月21日（週二）17:25-19:10的海報展示將由CyberOptics現場應用工程師Yukinobu Hayashi先生主持，探討如何在倍縮光罩環境下提高涉及空氣顆粒的製程效率和有效性。 Hayashi-san表示：「使用傳統的表面掃描光罩、原位法或手持法在微影應用中減少空氣顆粒仍然是個嚴峻挑戰。這些傳統方法缺乏即時回饋並經常存在未被檢測到的意外粒子來源或需要很長時間才能最終確定粒子來源。CyberOptics將探討使用無線光罩顆粒計數法作為即時快速定位和排除空氣顆粒的更高效率方法的優勢。我們將對相較於其他方法節省10倍時間的案例研究詳情進行評析。」 新型ReticleSense®空氣顆粒感測器石英(APSRQ)配備石英罩，可在處理石英倍縮光罩的半導體工具中使用。其內部技術即為被全球設備OEM和晶圓
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