日本横滨--(BUSINESS WIRE)--(美国商业资讯)--全球领先的高精度3D传感技术解决方案开发商和制造商CyberOptics® Corporation (NASDAQ: CYBE)将出席于2015年4月20日至22日在日本横滨举行的第22届光掩模和NGL掩模技术研讨会。 4月21日（周二）17:25-19:10的海报展示将由CyberOptics现场应用工程师Yukinobu Hayashi先生主持，探讨如何在中间掩模环境下提高涉及空气颗粒的工艺流程的效率和有效性。 Hayashi-san表示：“使用传统的表面扫描掩模、原位法或手持法在光刻应用中减少空气颗粒仍然是个严峻挑战。这些传统方法缺乏实时反馈并经常存在未被检测到的意外粒子源或需要很长时间才能最终确定粒子源。CyberOptics将探讨使用无线掩模颗粒计数法作为实时快速定位和排除空气颗粒的更高效方法的优势。我们将对相比其他方法节省10倍时间的案例研究详情进行评析。” 新型ReticleSense®空气颗粒传感器石英(APSRQ)配有石英罩，可在处理石英掩模板的半导体工具中使用。其内部技术即为被全球设备OEM和晶圆厂
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