栃木県小山市--(BUSINESS WIRE)--（ビジネスワイヤ） -- リソグラフィ光源の主要メーカーであるギガフォトン株式会社（本社: 栃木県小山市、代表取締役社長: 都丸仁）は、同社の半導体露光装置用エキシマレーザーの遠隔稼働モニタリングを行う、オープンイノベーション対応の新ツール「REDeeM CloudTM」を発表しました。REDeeM CloudTMは、最新のWeb技術を活用することにより、高い拡張性とカスタマイズ性を実現し、個々のユーザーのニーズに合わせたモニタリング機能を提供します。 ギガフォトンのレーザーはREDeeM CloudTM の前身、「REDeeM」において大幅なダウンタイム短縮を実現し、平均99.8％という非常に高い稼働率を達成しました。そして今日「ムーアの法則」を継続する半導体メーカーより更なるコストダウンと微細化が要求される中、レーザーには、プロセス性能とコストの最適化に対する今まで以上の貢献が期待されています。その実現のためには、 より詳細なレーザー稼働データのモニタリングや解析を可能とする、柔軟なアプリケーション・プラットフォームが必要です。R
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